变压吸附空分制氧、制氮工艺，因其投资少、能耗低、操作方便，在中、小规模空分领域内有取代传统低温空分装置的趋势。主要是利用了制氧专用分子筛在一定的压力条件下，对于氮气和氧气的吸附速度不同，从而使两种气体得以分离的特性来制取氧及富氧空气等。而对于吸附压力更低的VSA及VPSA装置，使用高效制氧用锂型分子筛，可进一步的提升制氧率以及降低制氧能耗。
PSA小型机制氧工艺
空气通过进气过滤装置过滤后进入压缩机，经压缩进入分子筛塔进行氧气、氮气分离。氧气顺利通过分子筛塔进入精筛塔，而氮气被分子吸附后，经分离阀排到大气中。氧气在精筛塔进一步提高浓度后，经流量控制阀控制流量大小，再通过湿化水箱进行润湿，最后流经输氧管供用户补充吸氧。
PSA中大型机制氧工艺
制氧系统主要由空气压缩机、空气冷却器，空气缓冲罐、切换阀、吸附器和氧气平衡罐组成。原料空气经吸入口过滤器除掉灰尘颗粒后,被空气压缩机增压至3~4barg而进入其中一只吸附器内。吸附器内装填吸附剂,其中水分、二氧化碳、及少量其它气体组分在吸附器入口处被装填于底部的活性氧化铝所吸附,随后氮气被装填于活性氧化铝上部的沸石分子筛所吸附。而氧气(包括氩气)为非吸附组分从吸附器顶部出口处作为产品气排至氧气平衡罐。当该吸附器吸附到一定程度,其中的吸附剂将达到饱和状态,此时通过切换阀放空，已吸附的水分、二氧化碳、氮气及少量其它气体组分排至大气,吸附剂得到再生。
